日本Shinkuu MSP-1S離子濺射儀與配套靶材完整介紹

發布日期：2026-04-20      瀏覽次數：9

一、產品概述

MSP-1S 是日本 Shinkuu（真空デバイス）公司生產的臺式磁控離子濺射儀，專為掃描電鏡（SEM）樣品導電膜制備設計，廣泛用于材料、生物、電子等領域。


1. 核心參數

• 尺寸 / 重量：W200×D350×H345 mm，約 14.6 kg，桌面式、內置真空泵。

• 真空系統：內置 10 L/min 旋轉泵，極限真空約 2 Pa，工作真空 6–10 Pa（氬氣）。

• 樣品倉：內徑 120 mm× 高 65 mm，硬質玻璃；樣品臺 φ50 mm，浮動式（與陽極分離）。

• 靶材規格：φ51 mm× 厚 0.1 mm（Ag 為 0.5 mm），磁控管電極（永磁體內置）。

• 電源：AC100 V，10 A；工作電壓約 500 V，低壓磁控，減少樣品損傷。

2. 工作原理

1. 真空腔充氬氣，高壓電場使氬氣電離為 Ar?。

2. Ar?在電場加速下轟擊金屬靶材，靶原子被濺出。

3. 靶原子沉積在樣品表面，形成 5–50 nm 厚均勻金屬膜，消除荷電、增強二次電子信號。

3. 關鍵設計優勢

• 浮動樣品臺：電流不流經樣品，升溫小，保護熱敏感樣品（如生物、高分子）。

• 低壓磁控：500 V 級電壓、6–8 Pa 氣壓，膜層致密（均勻性≤10%）、顆粒細，適合高倍 SEM。

• 一鍵全自動：抽真空→濺射→充氣全流程自動，1–5 分鐘完成鍍膜，新手易用。

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二、靶材體系與選型

MSP-1S 支持 5 種貴金屬靶材，標配 Au-Pd 合金，可選 Au、Pt、Pt-Pd、Ag，規格均為 φ51 mm。




1. 各靶材特性與應用

• Au-Pd（金鈀，60:40，標配）

• 特點：導電性好、膜連續、抗氧化、顆粒中等（20–30 nm），成本均衡。

• 適用：絕大多數常規 SEM 樣品（高分子、陶瓷、粉末、生物樣品），10,000–30,000 倍觀察。

• Au（金）

• 特點：導電性最1優、二次電子產率高、顆粒粗（30–50 nm）、易團聚。

• 適用：低倍（≤10,000×）快速觀察、導電要求高的樣品；不適合高分辨率或多孔樣品。

• Pt（鉑）

• 特點：顆粒最細（10–20 nm）、膜致密穩定、抗氧化強、成本高。

• 適用：高分辨率 FE-SEM（≤50,000×）、EBSD 分析、納米結構 / 薄膜 / 生物樣品高倍成像。

• Pt-Pd（鉑鈀，80:20）

• 特點：顆粒細（15–25 nm）、導電性與穩定性平衡、成本低于純 Pt。

• 適用：中高倍（20,000–40,000×）、兼顧分辨率與成本的科研場景。

• Ag（銀，厚 0.5 mm）

• 特點：導電性高、沉積快、極易氧化，需低真空 / 氬氣保護保存。

• 適用：短期高導電需求、非氧化環境樣品；不用于長期存放或高濕環境。

2. 靶材選型指南

表格

應用場景	推薦靶材	關鍵理由
常規 SEM（10k–30k×）、通用樣品	Au-Pd（標配）	均衡導電 / 成像 / 成本
高倍 FE-SEM（≤50k×）、EBSD	Pt / Pt-Pd	細顆粒、致密膜、高分辨率
低倍快速篩查、高導電需求	Au	高導電、沉積快
短期高導電、非氧化環境	Ag	高導電、成本低
生物 / 高分子（熱敏感）	Pt / Au-Pd	低損傷、膜均勻

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三、設備與靶材匹配分析

1. 優勢互補

• 低壓磁控 + 浮動臺：與 Pt/Pt-Pd 靶材適配，實現低損傷 + 細顆粒，適合生物 / 納米樣品高倍成像。

• 多靶材兼容：一臺設備覆蓋從低倍質檢到高倍科研的全場景，性價比高。

• 靶材規格統一：φ51 mm 快換設計，切換便捷，減少停機時間。

2. 局限性

• 非超高真空：工作真空 6–10 Pa，靶材顆粒（10–50 nm），不支持≤100k× 的超高分辨率 FE-SEM（需 3–5 nm 顆粒，如 Cressington 208HR）。

• 無反應濺射：僅支持貴金屬單質 / 合金，不能沉積氧化物、氮化物等功能膜。

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四、總結

MSP-1S 是中小型 SEM 實驗室的理想標配設備：體積小、操作簡、低損傷，靶材體系覆蓋從常規到高倍的主流需求，Au-Pd 通吃、Pt 主攻高倍、Au 適合快速質檢。選型時優先匹配放大倍數、樣品類型與預算，可最1大化設備價值。